Jörg Kickelhain
Laserunterstützte Strukturierung von Feinstleitern
in der Mikroelektronik
Berlin 2000, 149 Seiten, mit zahlreichen vierfarbigen Abbildungen,
€ 65,40; ISBN 978-3-934479-23-4
Über das Buch:
Die Miniaturisierung innerhalb der Mikroelektronik ist der
entscheidende Motor für die Entwicklung innovativer
Technologien zur Platz sparenden Fertigung moderner und
leistungsfähiger Baugruppen (z. B. mobile Telekommunikation,
Audio- und Videotechnik etc.). Hierbei spielt die Leiterplatte
des elektronischen Gerätes eine herausragende Rolle.
In dieser Arbeit werden einerseits die wissenschaftlichen
Grundlagen für ein völlig neuartiges Fertigungsverfahren
für flexible Feinstleiterschaltungen dargestellt, andererseits
beweisen die hier dokumentierten Untersuchungen, dass diese
Technologie auch innerhalb der Serienproduktion einsetzbar
ist.
Beschrieben wird ein äußerst umweltfreundlicher
und leistungsfähiger Gesamtprozess. Unter Nutzung der
Excimerlasertechnik wird es erstmals möglich, 20 µm
Leiterbahnen (etwa ein Fünftel des Durchmessers eines
menschlichen Haares) herzustellen. Eine Verkleinerung der
elektronischen Baugruppe ca. um den Faktor 5 wird somit
möglich.
Über den Autor:
Dr. Jörg Kickelhain; Studium der Nachrichtentechnik
an der Ingenieur-Hochschule Berlin und der Experimentalphysik
(Spezialisierung Laserphysik) an der Humboldt-Universität
Berlin; 1997: Geschäftsführer bei LPKF Laser &
Electronics; 1998 - 2004: Vorstandsmitglied der LPKF
Laser & Electronics AG, Garbsen, verantwortlich
für den gesamten Bereich Forschung und Entwicklung
in der Lasertechnologie; 1999: Promotion zum Dr.-Ing. an
der Universität Rostock; Mitglied im Lenkungskreis
des Mechatronic
Forschungsverbundprojekts.